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滿足電子工業高標準用水的紫外TOC去除器

滿足電子工業高標準用水的紫外TOC去除器
超純水作為電子工業生產中的關鍵基礎材料,其質量直接決定了產品的性能、良率以及可靠性。其中,總有機碳(TOC)含量是衡量超純水品質的核心指標之一,哪怕是極微量的有機碳雜質,都可能在電子生產過程中引發嚴重問題,如影響芯片光刻精度、導致電子元器件短路或性能衰退等。

  • 產品型號:GY-TOC-5
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-04-15
  • 訪  問  量:374
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滿足電子工業高標準用水的紫外TOC去除器

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紫外 TOC 去除器的工作原理  1-5-3-6-9-1-8-7-1-0-6

紫外 TOC 去除器主要利用特定波長紫外線的光化學作用來實現對水中有機碳的高效降解。其核心原理基于 185nm 波長的紫外線。當含有機碳的水通過紫外 TOC 去除器時,185nm 紫外線光子具有足夠的能量與水分子發生作用,促使水分子發生均裂反應。水分子在紫外線能量作用下,分解產生活性的中間體,包括羥基自由基(?OH)、氫原子(H?)和水合電子(eaq)。這些活性中間體具有的氧化性和反應活性,水中的有機碳(TOC)遇到它們后,會迅速發生一系列化學反應,如親電反應、親核反應以及電子轉移反應。在這些反應過程中,有機物分子的化學鍵被逐步打破,復雜的有機結構被分解為簡單的無機物,最終絕大部分有機物被氧化轉化為二氧化碳(CO?)和水(H?O)。同時,部分未被礦化的有機物也會被轉化為相對分子質量較小、更容易被后續水處理工藝去除的物質,從而實現超純水中 TOC 含量的大幅降低,滿足電子工業對水質的嚴格要求。此外,一些紫外 TOC 去除器還會同時利用 254nm 波長的紫外線,該波長紫外線主要用于破壞微生物的 DNA 結構,起到殺菌消毒的作用,與 185nm 紫外線協同工作,在降低 TOC 的同時,保障水質的微生物安全性,為電子工業用水提供的凈化處理。

三、設備關鍵組件與設計特點

  1. 高性能紫外燈組件:紫外燈是紫外 TOC 去除器的核心部件,為滿足電子工業對 TOC 去除的高效性和穩定性要求,通常選用低壓高輸出或中壓高強度的紫外燈。例如,一些好的紫外 TOC 去除器采用國際品牌的低壓汞燈,其能穩定輸出高強度的 185nm 和 254nm 雙波長紫外線,且燈管使用壽命長,可達 12000 小時以上,減少了頻繁更換燈管對生產的影響。同時,中壓紫外燈由于其輸出功率高、光譜范圍廣,在處理大流量超純水時具有優勢,可在較短時間內提供足夠的紫外線能量,促使有機物充分降解。

  2. 高透紫率石英套管:為保證紫外線能夠高效透過并作用于水中的有機物,紫外燈通常安裝在石英套管內。優質的石英套管采用高純度的石英材料制成,對 185nm 紫外線的透過率可達 70% 以上,254nm 紫外線透過率在 90% 以上。例如,部分產品選用太平洋純進口原材料石英制作套管,其透紫率高,能有效減少紫外線在傳輸過程中的衰減,使更多的紫外線能量作用于水體,提高 TOC 降解效率。同時,石英套管具有良好的化學穩定性和耐高溫性能,可適應超純水系統中的各種工況條件。

  3. 優化設計的反應腔體:反應腔體是水流與紫外線發生充分反應的場所,其設計直接影響 TOC 去除效果。一般采用 316L 或 304 不銹鋼材質制造,內壁進行特殊的電解拋光處理,拋光度可達 Ra 0.2,以減少水流阻力,使水流能夠均勻地流過反應區域,確保每一部分水都能充分接受紫外線照射。此外,反應腔體的結構設計會根據不同的處理流量和水質要求進行優化,如采用管式或箱式結構,合理設置水流路徑和紫外線燈管的布局,以提高紫外線的利用效率,實現對超純水中 TOC 的高效去除。

  4. 智能控制系統:好的紫外 TOC 去除器配備了智能控制系統,可實時監測和調控設備的運行狀態。該系統能夠實時監測紫外燈的工作電壓、電流、溫度等參數,確保紫外燈始終處于最佳工作狀態。同時,通過在線 TOC 監測儀實時反饋水中 TOC 含量,自動調整紫外線的照射劑量。當檢測到 TOC 含量升高時,系統會自動增加紫外燈的輸出功率或延長水流在反應腔體內的停留時間,以保證出水 TOC 始終穩定在電子工業要求的極低水平。此外,智能控制系統還具備故障診斷和報警功能,一旦設備出現異常,如燈管故障、石英套管結垢等,系統會立即發出警報,并采取相應的保護措施,如自動關閉設備,防止不合格水質進入生產系統,確保電子工業生產的連續性和穩定性。



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